真空工程中的制冷低溫真空技術(shù)
真空和低溫這兩個學(xué)科聯(lián)系非常密切。
低溫技術(shù)依靠真空非常明顯的例子比如：真空絕熱。
低溫設(shè)備中，為了減少冷量的泄露，必須采用高真空絕熱。比如液氦、液氫的存儲容器。
在真空技術(shù)中，獲得高真空和超高真空最有效的手段就是低溫。
原理是：利用氣體在低溫表面的凝集從而實(shí)現(xiàn)低溫冷凝抽氣、氣體在多孔材料中的物理吸附抽氣、某些金屬膜對氣體的化學(xué)吸附抽氣。
利用低溫獲得真空有很多好處：
1、工作壓強(qiáng)范圍寬，啟動壓強(qiáng)高。
2、極限真空度高，可達(dá)到10*（-12）pa的極高真空。
3、抽氣速率大，例如空間環(huán)模設(shè)備采用內(nèi)置式低溫泵抽速可達(dá)百萬/秒。
4、沒有污染，真正實(shí)現(xiàn)無油清潔真空。
在真空技術(shù)中，還存在大量的帶有油介質(zhì)的泵，如擴(kuò)散泵、旋片泵、滑閥泵等，為了避免油蒸汽進(jìn)入真空空間，一般需要加低溫捕油阱或擋油擋板，而其冷卻必須使用低溫制冷設(shè)備來到達(dá)。
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