真空泵的作用是對(duì)真空系統(tǒng)(器件)進(jìn)行抽氣從而達(dá)到一定的真空泵(或者壓力)。
那么真空度究竟有多高是多少呢?就需要用到各種真空度的測(cè)量?jī)x器了,即真空計(jì)。
需要說明的是真空度測(cè)量是對(duì)低于大氣壓的氣體作全壓的測(cè)量,所以真空計(jì)是測(cè)量真空系統(tǒng)中低于大氣壓的所有氣體總壓的儀器。如果要測(cè)某種氣體的分壓力,則需要四級(jí)質(zhì)譜計(jì)那樣的分圧計(jì)來測(cè)量。
真空計(jì)包括兩部分組成:真空規(guī)管和控制線路。
真空計(jì)的分類如下:
按工作原理可分為絕對(duì)真空計(jì)和相對(duì)真空計(jì)。
常見的真空計(jì)有:真空壓力表(布爾登規(guī)) 10*5~100pa
壓阻式真空計(jì) 10*5~10pa
石英真空計(jì) 10*5~10pa
U型管真空計(jì) 10*5~10pa(水銀) 10*5~1pa(油)
壓縮真空計(jì) 電阻真空計(jì)(皮拉尼真空計(jì)) 熱偶真空計(jì)
熱(冷)陰極電離真空計(jì) B-A電離真空計(jì) 克努曾真空計(jì)